专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种刻蚀和沉积工艺三维信息存储结构及操作方法-CN201310218939.0有效
  • 杨宏军;宋亦旭;孙晓民;贾培发 - 清华大学
  • 2013-06-04 - 2013-10-02 - G06F17/50
  • 本发明涉及一种刻蚀和沉积工艺自动模拟时三维信息存储结构及操作方法,属于微电子加工过程中对刻蚀和沉积过程模拟技术领域,该存储结构为:创建一个二维静态数组来表示自动模型信息,该二维静态数组每个元素的信息包括:记录(x,y)列所有表面的个数和一个用来存储(x,y)列所有表面一维动态数组;该一维动态数组中每个元素除记录的信息外,还增加一个记录表面沿z轴坐标值z,用于还原三维自动模型。该操作方法包括对的随机访问、信息的添加、删除及修改。本发明解决了现有的自动模拟时使用的三维信息存储结构,不能实现高分辨率自动模拟的问题。
  • 一种刻蚀沉积工艺三维信息存储结构操作方法

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